一般來說,準分子激光是波長很短的紫外光,它與生物組織發(fā)生的是光化學效應而不是熱效應,因此,不會產(chǎn)生熱損傷。準分子激光推進了刻蝕、材料研究、汽車制造、光纖、鉆石打標設備及可替代能源等多種成長型工業(yè)中的技術革新。準分子激光氣體體是用于準分子激光設備中的激光發(fā)生器的關鍵氣體。所謂準分子激光,是指受激二聚體所產(chǎn)生的激光。之所以產(chǎn)生稱為準分子,是因為它不是穩(wěn)定的分子,是在激光混合氣體受到外來能量的激發(fā)所引起的一系列物理及化學反應中曾經(jīng)形成但轉(zhuǎn)瞬即逝的分子,其壽命僅為幾十毫微秒?!?
準分激光是一種氣體脈沖激光,所產(chǎn)生的是波長為193nm的準分子激光,它是一種超紫外線光 波,此波長的激光吸收范圍窄,激光的能量幾乎完全被上皮細胞和基質(zhì)吸收,超過這個范圍的組織不會吸收到激光,所以周圍的組織不會損傷。準分子激光氣分類及用途:含氟準分子激光氣體。準分子激光氣是多組份混合氣體,其輸出波長是稀有氣體(或鹵素)結合作用的結果。準分子是稀有氣體(或鹵化物)的分子的名稱。通過含氟準分子激光氣體能產(chǎn)生四種波長的光波(或譜線)。準分子激光波長短,穿透力弱,每個脈沖只能切削0.25um的深度,是在細胞下水平切削,切削極,因此打穿眼球是不可能的。
作為當今有效、可靠的脈沖紫外激光技術的代表,準分子激光有效推進了諸如半導體、AMOLED平板顯示、薄膜、硅底板加工、有機金屬沉淀、高溫超導、中的技術革新。氣體通常都是裝在鋼瓶容器之中但是均為高壓充裝氣體,所以仍然要給予良好的保存條件,正常情況下,除了不能有其他物品對其進行撞擊之外,應該將氣體放在不會被陽光直接照射的地方。目前準分子激光已廣泛應用在臨床醫(yī)學以及科學研究與工業(yè)應用方面,如:鉆孔、標記表面處理、激光化學氣相沉積,物理氣相沉積,磁頭與光學鏡片和硅晶圓的清潔等方面,微機電系統(tǒng)相關的微制造技術.
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